基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析* (2007年)

分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程，开发了仿真系统，分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程。通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果，对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论和分析。两种方法在一定程度上都能正确地反映了实验的结果，元胞自动机在系统结构初步设计中能发挥更大的作用，而蒙特卡罗法能获得细致的表面结构，粗糙度等数据，在小尺度分析上具有更强的模拟能力。