EACVD小型化系统摆动衬底设计及温度场仿真研究 (2009年)

对传统的电子辅助化学气相沉积（EACVD）系统连续转动衬底进行改进，设计了无急回特性的曲柄摇杆机构摆动衬底，解决了原衬底结构复杂，只能单点测温，以及衬底冷却水渗漏等问题；对摆动衬底的温度场进行仿真计算，分析了不同摆动参数对衬底温度场的影响，结果表明，选用合适的摆动参数可以获得比较均匀的衬底温度场。仿真结果可以为衬底摆动机构的设计提供理论依据。