ICP氩等离子体发射光谱诊断

ICP氩等离子体发射光谱诊断，王燕，陈俊芳，介绍了利用发射光谱法诊断射频感应耦合氩等离子体发射光谱。利用OES的测量技术对不同气压和射频功率系下测定氩原子谱线和离子谱线