金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍(Ni)等离子体的发射光谱诊断* (2011年)

利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧(MEVVA)源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集，并用“Plasus Specline”软件对采集到的数据进行分析，得到各条谱线所对应的元素及元素电荷态、跃迁能级及其能量等信息．同时采用多谱线斜率法对镍等离子的电子温度进行计算，并利用电子温度对等离子体的电子密度进行计算，从而实现MEVVA源产生的金属镍等离子体的发射光谱诊断．