非平衡磁控溅射离子镀MoS2-Ti复合薄膜的结构及性能 (2005年)

用非平衡磁控溅射离子镀法沉积了钛含量不同的MoS2-Ti复合薄膜，电子探针分析表明共沉积钛可以降低MoS2薄膜中氧杂质的含量，XRD分析显示薄膜具有类似非晶的结构。划痕试验结果显示薄膜的临界载荷都大于100N，球盘磨损试验结果显示MoS2-Ti复合薄膜比MoS2薄膜耐磨性好，并且摩擦系数低于0.07。