基于阵列电极的电沉积铜层均匀度的研究

基于阵列电极的电沉积铜层均匀度的研究，张锦秋，陈桂林，为解决微小、复杂零件电镀时存在的电流密度分布不均匀的问题，在固定尺寸的电镀槽内，使用工作面积不同和排列位置不同的阵列玻碳