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薄Si膜对基底表面粗糙度的影响
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2021-02-11
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利用ZYGO光学干涉测量仪,散射积分测量法观测了光学元件表面均方根粗糙度.详细分析了薄Si膜对基底均方根粗糙度的影响,由此认为薄膜并不总是复制基底表面的粗糙度,结果出现了薄膜降低表面粗糙度的现象,提出了一定厚度范围的薄Si膜的表面粗糙度存在着一个稳定值的新设想。
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