FTO导电玻璃对太阳电池窗口层材料的影响* (2010年)

P型微晶碳化硅薄膜(p-μc-SiC：H)作为非晶硅薄膜太阳电池的窗口层材料，能够提高P层的光学带隙，增加窗口层可见光部分的透光率，从而提高太阳电池的填充因子和转换效率。本文研究射频功率、反应温度、SiH4和CH4气体流量比对 FTO导电玻璃上P型μc-SiC：H薄膜的光学带隙、透光率的影响。并在相同工艺条件下对比三种主流导电玻璃(ITO、AZO、 FTO)上的薄膜光学特性，找到最适合做太阳能电池P-μc-sic：H薄膜的基板。