基于近场声悬浮的非接触式直线型压电作动器 (2010年)

针对近场声悬浮（NFAL）传输在航空航天、高纯度材料加工以及微机电系统装配操作等领域的良好应用前景，设计出了非接触式直线型压电作动器。该作动器依靠兰杰文振子的振动，产生高声强声场来悬浮并驱动物体沿行波方向运动。先通过动力学分析和结构设计，试制出了一对兰杰文振子样机，并通过实验获得了其动态特性参数；然后，成功制造出了基于NFAL的非接触式直线型压电作动器，此作动器可悬浮传输的最大单位面积质量为3.069。