沉积气压对非晶碳薄膜结构和性能的影响

沉积气压对非晶碳薄膜结构和性能的影响，王成兵，，采用直流-脉冲等离子体化学气相沉积技术，以甲烷和氢气为前驱气源，制备了氢化非晶碳薄膜（a-C:H）。考察了沉积气压(6, 8, 11, 15, 20 Pa)