沉积温度对BCN薄膜成分及结构的影响

沉积温度对BCN薄膜成分及结构的影响，徐淑艳，马欣新，本文采用磁控溅射方法，改变沉积温度制备了系列硼碳氮(BCN）薄膜。采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析了薄膜的成分和结�