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阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池。利用Schottky结取代常用的p-n结,在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试,得到了开路电压Voc为0.25 V、短路电流密度Jsc为7.64nA/em2和输出功率密度Pmax为1.12nW/cm2。在对4H-SiC肖特基结研制过程中的一些关键工艺进行研究之后,采用XRD法对欧姆接触成分进行了分析,结果表明形成了二元合金相Ni2Sio为了防止界面态密度的提高而导致漏电流增大,肖特基结的设计和加工过程都要严格控制污染源。考虑
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weixin_38651507
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