日盲探测宽波段低噪声滤波器件的研制

为满足日盲探测系统的技术要求, 研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270 nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200 nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性, 结合光学薄膜理论, 优化膜系结构, 设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜, 通过对沉积速率的实验研究, 在保证金属光学性能的前提下, 有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析, 对谐振层工艺参数进行优化, 有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270 nm波段的平均透射率达到51.21%, 在300~1200 nm抑制区的平均透射率为0.90%。