掠入射X射线显微镜系统光线追迹程序

将掠入射改进的Kirkpatrick-Baez (KBA)型X射线显微镜用于研究激光等离子体惯性约束聚变,它由两对正交的反射镜构成。研究了针对掠入射反射系统的光线追迹程序,利用该程序设计了KBA反射镜,得出对于这种双反射镜结构,孔径光阑放在第二块反射镜上结构更紧凑的结论。研究了KBA显微镜的场曲以及俯仰角对成像质量的影响,找出了最优的离焦距离,制定了系统的俯仰角误差。