气动膜片式微滴喷射系统原理与实验 (2009年)

利用压电式微滴喷射技术驱动力传递路径短、驱动可控和气压直接驱动微滴喷射耐高温的优点，提出了一种气动膜片式微滴喷射技术。以压缩气体为驱动源，膜片为驱动部件，通过电磁阀通断控制流体形成射流，并使射流颈缩分离形成微滴。以无粘性流体伯努利方程和粘性流体动量守恒方程为基础，建立了微滴喷射过程的数学模型。以气动膜片式微滴喷射装置对焊料进行微滴喷射实验，得到了直径偏差在3%以内的焊球。在喷嘴孔径为80μm和100μm的情况下，分别获得最小直径为85μm和105.3μ/m的金属焊球。