电热微夹钳的热效应分析和数值模拟 (2005年)

介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳，该夹钳在V形电热微驱动器的作用下，能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力。在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下，建立了该电热微夹钳的有限元模型，利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析，模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况，以及电热微夹钳的热响应时间。对仿真的结果进行了讨论。