面向MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术

面向MEMS金属微构件的激光微喷丸强化技术，樊玉杰，周建忠，MEMS中的金属微构件由于其特定的工作环境容易引起磨损和疲劳失效，目前对于微结构表面处理提高其使用性能的工艺研究鲜有文献报道�