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\MEMS微电源技术
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一本介绍MEMS微电源技术的很好的资料。
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MEMS技术构成
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MEMS前沿技术 Excel格式非常易于理解 还有冰河钻过图作解释
MEMS制造技术YES
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批量微加工 主条目：批量微加工 批量微加工是基于硅的MEMS的最古老范例。硅晶片的整个厚度用于构建微机械结构。[18]使用各种蚀刻工艺来加工硅。玻璃板或其他硅片的阳极键合可用于添加三维尺寸的特征并进行密封。批量微机械加工对于实现高性能的压力传感器和加速度计至关重要，而这种压力传感器和加速度计在1980年代和90年代改变了传感器行业。
MEMS技术及其应用
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MEMS技术及其应用，李德胜编，哈尔滨工业大学出版社
浅谈MEMS陀螺仪技术 MEMS是否取代光纤陀螺仪技术
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MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪，就是一块芯片。...mems陀螺仪的特点：MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、
清华大学微电子研究所讲义-MEMS封装技术.pdf
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MEMS是微机电系统的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本成为微机械，在欧洲被成为微系统。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件...
MEMS 麦克风讲义
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MEMS (Micro Electromechanical System，即微电子机械 系统) 是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接 口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来MEMS 具有以下几个基本特点，微型化、智能化、...
剖析硅基MEMS制造技术
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MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体...
深入读懂MEMS技术
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什么是MEMS? 微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米—1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件加工技术并非机械式。相反，它们采用类似于集成电路
超越摩尔定律的新技术MEMS
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相对于CMOS工艺，MEMS的复杂性在于其涉及机械、声学、光电、化学、生物等多学科，而两者都离不开EDA软件工具的辅助设计来完成这些复杂工作，缩短开发时间、降低成本。
MEMS技术的发展与应用
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关于MEMS技术的原理及应用各项描述，使我们更好的了解他的作用和其他功能
MEMS技术系统级仿真技术
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MEMS器件的系统级仿真技术，深入浅出 非常值得借鉴 适合从事MEMS的工作者和研究人员
基于聚吡咯微电极的MEMS微型超级电容器的研究* (2011年)
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MEMS微能源是指采用微加工技术制作实现能量的获取与转换、存储与释放的微纳器件与系统，而微型超级电容器则是一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件，可作为能量存储单元在MEMS微电源系统中获得应用。...
图文详解MEMS压力传感器原理与应用
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MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
模拟技术中的剖析硅基MEMS制造技术
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MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体...
电源技术中的意法半导体的MEMS技术联手任天堂推动电子游戏革命
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以ST的微机电系统(MEMS)技术与现实世界互动的微米结构为引擎，Wii控制器能够对速度、方向、加速度的变化甚至最细微的运动做出立即响应。特别是该控制器采用嵌入式加速传感器，使玩家的手腕、胳膊和手的运动能够与...
电源技术中的无处不在的微机电系统（MEMS）陀螺仪
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这一问题的答案会有助于解释MEMS陀螺仪的工作原理。 如今，1817年发明的陀螺仪在车辆控制、航空、航天、导航、机器人及军事领域都得到了应用。MEMS陀螺仪也推动了在消费电子产品当中的应用，例如：在固定相机中的...
MEMS技术及其应用浅谈
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MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的英文缩写，也叫微电子机械系统。它的出现可追溯到19世纪。20世纪60年代美国人首先研发出了结晶异方向腐蚀、阳极键合等早期的基本微加工技术。到了70年代，也是美国人提出了基于硅半导体的所谓微机械的设想。伴随着半导体加工技术的不断进步，人们开始利用微加工技术制造出各种微小尺寸的机械零部件。
振动监控应用中的MEMS技术
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MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能，这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外，MEMS惯性传感器用于汽车安全系统可显着提高系统可靠性，并降低系统成本，使汽车安全系统能够应用于大多数汽车。 功能集成度和性能的不断发展也有助于将MEMS加速度计和陀螺仪应用于许多不同的工业系统。 其中一些
MEMS惯性技术的发展及应用
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MEMS惯性技术是近年来战术级惯性导航的研究热点，也是惯性导航技术未来的主要发展方向之一。本文介绍了MEMS惯性传感器的发展概况，结合Draper实验室的MEMS惯性系统项目计划介绍了MEMS惯性系统的发展，分别介绍了MEMS惯性测量单元和MEMS组合导航技术的最新进展，并展望了MEMS惯性系统的发展趋势。高性能MEMS陀螺、芯片级MEMS-IMU和MEMS组合导航系统是MEMS惯性技术未来的发展
传感技术中的MEMS振动监控
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简介 MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能，这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。此外，MEMS惯性传感器用于汽车安全系统可显着提高系统可靠性，并降低系统成本，使汽车安全系统能够应用于大多数汽车。 功能集成度和性能的不断发展也有助于将MEMS加速度计和陀螺仪应用于许多不同的工业系统。其
MEMS陀螺技术简介
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文章用详细、清晰、简明的方式介绍了MEMS陀螺的技术原理、应用指标和发展动态。
浅谈MEMS发展历史和芯片封装
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MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体...
研究星载MEMS原子钟稳频系统的优化
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探究MEMS压力传感器及其应用
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高电压与绝缘技术本学科主要... （7）微纳电工技术 本学科主要研究方向为：电子束曝光技术及应用、电子束和离子束加工技术、先进光刻技术、微机电系统（MEMS）设计与制造、微纳加工、检测及控制技术、新型微小电源等。
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