光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究① (2004年)

提出一种新型声光波导相位调制技术，用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上，工作波长为1.3μm。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计，结果为：氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003mm，叉指换能器叉指对数N=17，中心距l=27.19μm，中心频率f0=48MHz，中心指长L0=4.46mm。