晶圆生产良率的制约因素

晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率. 1.工艺制程步骤的数量 2.晶圆破碎和弯曲 3.工艺制程变异 4.工艺制程缺陷 5.光刻掩模板缺陷