小型反射镜柔性镜座柔度分析 (2013年)

为了进行小型反射镜柔性镜座的柔度研究?首先利用伴随变换建立柔性镜座的柔度矩阵，推导出轴向?侧向某方向柔度分别为9.58×10-8m/N?1.38×10-8m/N，并用有限元分析软件MSC.Patran/Nastra仿真得到轴向柔度1.00×10-8m/N?侧向柔度1.33×10-8m/N?之后假设镜座与模拟镜之间连接处柔度矩阵为6×6对角阵?将此矩阵组合至镜座柔度理论模型中，得到侧向柔度关于连接处柔度矩阵对角线元素的表达式?通过对侧向柔度实验数据进行非线性拟合得到其数值，并计算出其正交方向与轴向柔度分别为