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光测距的迫切任务是提髙位移测量精度。相位光测距仪精度最高，在这种测距仪里，调制辐射通过一段距离，根据调制相位的延迟确定位移。但是，由于某些原因，在真实的仪器中，调制频率被限制在千兆赫，相应的测量误差为0.5毫米。利用干涉法有可能进一步提高其测量精度。用于距离相对测量的激光干涉仪在人工建立无大气扰动的条件下(辐射在隧道里传播)，灵敏度为0.1微米，测程约20米。