基于空间频率评价磁流变抛光非球面中频误差 (2006年)

基于空间频率的概念，提出磁流变抛光非球面表面波像差的相移评价算法，根据位相与表面高度差之间的关系，计算出元件表面上各点的实际高度差。通过规划表面残余误差与抛光工艺参数之间的关系，确定能够有效消除表面残余误差的磁流变抛光工艺规范，制造成功在20mm通光口径内面形精度达到20nmRMS（均方根值）的非球面曲面。该方法克服了传统评价方法的局限性，为深入开展纳米精度磁流变抛光技术提供有力的技术储备。