对于Zn0/360YX-LiTaO3结构的Love波免疫传感器,免疫传感实验的结果表明,不同的波导层厚度,免疫传感的灵敏度不同。同时,存在最佳Zn0波导层厚度,使得Love波免疫传感器的灵敏度达到最高。本文根据多层薄膜中弹性波传播理论,运用部分波求解方法,对Zn0/360YX-LiTa03结构的Love波器件的相速度及相对质量灵敏度与波导层的厚度的关系进行了数值计算。计算结果表明,当相对于波长归一化膜厚为0-0.1范围内,随着波导层厚度的增加,Love波器件在无负载和有负载条件下的相速度均随之减少;相对质
