等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜 (2006年)

通过引入金属有机源——二乙基锌和二氧化碳，用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）的方法在低温下制备高质量（002）取向的氧化锌薄膜，详细研究了衬底温度对薄膜质量的影响。实验发现；衬底温度对氧化锌的取向性和晶粒的大小都有显著的影响。随着温度的提高，氧化锌的取向性。增强，温度为230℃时得到单一（002）取向的六角结构的氧化锌薄膜，其xRD的半高宽为0.26°。从其透射谱可以观察到典型的激子吸收线，从光致发光谱上可以观察到一个强而窄（半高宽度大约为125mey）的3.26eV紫外激子发射。