离子束抛光等量去除的实现及抛光实验

为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除的去除量及波动量。根据理论及实验数据分析验证一维等量去除的可行性,得出最优叠加间距为σ。再以σ为叠加间距进行二维等量去除理论及实验分析,通过30 s熔石英二维等量去除实验,得出去除量为384.7 nm。结合抛光实验,对RMS值为138.5 nm的Φ100 mm口径的熔石英平面窗口玻璃进行面形修正,加工后RMS值为18 nm,面形收敛率达到7.82。