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Hexagonal gallium nitride film with micron thickness fabricated ...
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2020-02-10
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氨化掺镁的氧化镓制备微米厚度的氮化镓薄膜,王亮玲,郝良振,在氧化镓单晶的(100)解理面上,利用氨化技术制备了微米厚度的GaN薄膜。制备后的GaN薄膜具有小的空洞,表明薄膜生长机制是三维生长的V
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