微加速度计是MEMS的关键部分之一。为保证微加速度计工作时的精确性和稳定性,对其进行动力学特性分析具有十分重要的理论意义。通过建立系统等效模型,再从悬臂梁的振动特性和气动性能等两部分进行了研究。对于振动特性,运用有限元分析软件ANSYS Workbench进行了模态分析,得到了前六阶振动频率和振型。在谐响应分析下,得到了悬臂梁不同频率的应力频率响应和位移频率响应曲线,由此确定了悬臂梁式微加速度计的频响范围;对于气动性能,主要是从悬臂梁与容器壁面间隙在1~9μm来研究悬臂梁。
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