为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式。在这个理论模型的基础上，为了进一步提高微杆杠的放大倍数，对其参数进行优化，分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响，优化后该结构的放大倍数高达200。基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器，分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点，并对这两种结构进行有限元模拟。模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于100
