一种考虑表层原子结构的纳米接触近距离分子间作用计算方法 (2013年)

接触粘着是MEMS失效的主要原因之一．基于Hamaker三假设用连续方法进行纳米接触仿真是一种高效的近似方法．然而，由于没有考虑物体表层的微观结构，连续方法只能讨论较远距离的引力．通过改进，提出了一种考虑表面原子结构对粘着计算的数值方法，改进后的方法在较近距离上有着更高的精度，且可以用以讨论斥力．该方法对于MEMS的设计具有一定指导意义．