波导与探测器吸收层垂直耦合结构中的光学耦合分析

利用几何光学理论分析了波导与探测器吸收层之间的光学传播情况,以硅基波导与GeSi/Si多量子阱PIN探测器吸收层为分析对象,说明光学耦合效率与两层介质的折射率分布及吸收层长度的关系。