一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真 (2006年)

微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流，本文在硅一玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计，该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起，提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度。最后，对所设计的结构进行了工艺仿真，通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较，论证了结构的基本可行性。