为提高大气压下微波等离子体分解CF4过程的能量效率，降低副产物NO2的生成，采用微波等离子体后端添加Ag/A12O3催化剂的方法，研究了微波等离子体与催化剂协同作用对CF4去除率的影响，考察了催化剂载体中银负载量对副产物NOx生成的抑制效果。结果表明，微波等离子体与Ag/Alz03对CF4去除协同作用明显，CF4最高去除率达到95.8%，等离子体与催化剂的协同作用使CF4去除效率提高了32.7%，与单独等离子体作用相比，能量利用效率提高58.1%。催化剂中负载Ag量对副产物NOx的体积分数有明显影响，当A
