氧微波等离子体处理的In2O3通道中生长的金属-有机化学气相沉积超高场效应迁移率薄膜晶体管

需积分: 5 0 下载量 83 浏览量 2021-04-03 00:42:39 上传 评论 收藏 512KB PDF 举报
preview