用光刻胶复制高精度黑铬度盘工艺 (1982年)

本文介绍了用光刻胶复制高精度黑格度盘的工艺流程。该方法由于度盘采用先铬后胶工艺,用一真空蒸镀黑格,黑格线条反一射率约5% , 线条间隔铝的反射率约为90 % , 反差高、对比好,改善了光电转换信号的效果,线条牢固度也较好;并由于应用的光刻胶为高分子化学合成的高纯度光教性物质,故分子结构性能稳定,复制精度损失小,且波动范围窄,成品率较高。文章还提出了在操作中应注意的问题。