不确定计量延迟的半导体Craft.io的基于最小熵的运行间控制

通过结合最小误差熵和最优控制策略，提出了一种具有不确定计量延迟的半导体制程控制方法。 在大多数半导体Craft.io中，上一次运行的产品质量数据在下一次运行开始之前通常不可用。 因此，校正步骤通常被延迟一批次或更多，并且延迟的持续时间具有随机特性是不确定的。 再加上不正确的过程模型，即使使用指数加权移动平均值（EWMA）控制器，延迟也可能导致过程输出的显着变化。 从概率的角度出发，提出了一种处理不确定的计量延迟的新方法。 首先要重新检查运行控制系统的基本原理，然后通过将熵（或信息势）和跟踪误差的平均值与控制输入能量的约束相结合来给出创新的性能指标。 针对扰动和时延不是高斯的过程，提出了一种基于概率密度函数（PDF）的最优控制算法，并对算法的稳定性进行了分析。 另外，所提出的控制策略的方法被扩展到包括递归PDF估计和在线实时实现。 本文还包括钨化学气相沉积过程的最小熵控制的仿真示例，以说明该方法。 此外，将传统的EWMA方法与所提出的方法进行了比较，以显示我们新提出的方法的优点。