La0.5Sr0.5CoO3薄膜的制备及其湿敏性质的研究 (2006年)

利用脉冲激光沉积( PLD)的方法,在 SiO2 /Si衬底成功制备了钙钛矿结构的 La 0. 5Sr 0 . 5CoO3 薄膜。对制备的薄膜生长的薄膜进行了 XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析。 着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对薄膜湿敏电阻进行了测量。