分离吸收分级电荷倍增雪崩光电二极管的等效电路建模

本文针对分离吸收分级电荷乘积（SAGCM）雪崩光电二极管（APD）的频率性能开发了一种新型等效电路模型，该模型包括载流子传输时间，雪崩累积时间和寄生RC元件的影响。 基于等效电路模型，可以在器件制造之前对SAGCM APD的频率和带宽特性进行仿真，仿真结果与实验数据吻合良好。 当M = 1时，也可以模拟传统的Pin光电二极管。 此外，还研究了SAGCM APD和针状光电二极管在不同照射方向下的频率响应。