金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线

金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线，王艳周，岳红伟，本文采用金属辅助化学刻蚀法（HF/AgNO3溶液），在单晶硅表面制备了硅纳米线阵列,深入探讨了金属辅助化学刻蚀的机理并研究了单晶硅表