一种新型多维加速度传感器弹性体设计与仿真分析① (2003年)

基于E型膜片设计了一种新型多维加速度传感器弹性体结构，并介绍了这种低成本传感器的工作原理。有限元仿真分析得到了弹性体结构的静态和动态特性，结果表明该结构对各轴向加速度都具有较高的灵敏度，并能够消除各轴向加速度间的耦合。