用于MEMS传感器和执行器的CoNiMnP永磁体阵列的电沉积和表征

在本文中，已经设计，制造和研究了电镀CoNiMnP永磁体阵列。 阵列包含具有不同半径的圆柱磁体以及具有不同长宽比的立方磁体。 观察到，圆柱体阵列的保持性和能量密度随着半径的增加而降低。 对于立方阵列，随着长径比的增加，保持性和能量密度增加。 此外，还研究了阵列厚度对磁性能的影响。 发现对于立方阵列，保持性和能量密度都随着厚度的增加而下降。 但是，方形阵列中存储的总能量上升到180％。 在立方阵列中成功获得了751 Oe的高矫顽力，高达8887Gs的保持力和17.4 kJ / m（3）的能量密度。 通过修改阵列的几何形状，可将保持性和能量密度分别提高到115％和129％。 它被成功地用于新型电磁能量收集器的制造中。