采用拍频检测的内嵌型微环传感器研究* (2014年)

提出了一种内嵌型微环传感结构。利用内嵌型结构产生的高Q值滤波峰,采用拍频检测技术,可以实现高灵敏度传感器。采用传输矩阵法分析了内嵌微环半径对滤波峰位置及相邻滤波峰之间关系的影响。内嵌微环的滤波峰产生了分裂,其波长间距很小,且随折射率变化波长间距也会变化。利用该器件构建了拍频检测系统,并对该器件进行传感分析。仿真结果表明,该结构的传感灵敏度为1×10-4折射率单位(RIU),其频率偏移为4 MHz/1×10-4 RIU。