基于相位测量偏折术的非球面法线向量测量

非球面可以由其法线汇来表征，即可以由法线距和法线角的关系来描述。提出了一种基于相位测量偏折术(PMD)的非球面反射镜法线向量检测方法。在PMD测量系统中，将待测镜沿光轴方向作相对移动。在移动过程中，由CCD相机扫描待测镜，观察并记录下随待测镜移动而发生变化的条纹图，通过相位分布计算得到非球面法线距和法线角的关系，即非球面的法线汇，再由法线汇计算得到非球面面形直角坐标分布。在该方法中，可以用法线汇来描述非球面的面形，同时也可以通过几何计算转换到直角坐标系进行评价。