基于数字图像相关的平面物体面形散斑图形偏折术

提出了一种基于数字图像相关(DIC)的散斑图形偏折术(SPD), 将二维DIC用于测量镜面的三维面形。用散斑位移代替条纹形变, 使偏折术的测量过程更简单高效, 只需拍摄两幅散斑图, 面形检测精度可以达到微米量级。介绍了SPD的原理与方法, 推导了相关公式, 对散斑图进行了设计制作。实验测量了一块有机玻璃板的面形, 与相位测量偏折术的结果对比, 其测量精度接近1 μm。