基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究 (2010年)

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制。介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果。该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作。芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便。测试结果表明,驱动功率为0。38W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1mm/s和1mm/s。