采用溶胶-凝胶法，以正硅酸四乙酯(TEOS)和甲基三乙氧基硅烷(MTES)为前驱体，利用浸渍提拉法镀膜，经60℃烘干2 h制得疏水SiO2薄膜。研究MTES与TEOS摩尔比、乙醇加入量、加水量对薄膜疏水性能的影响。采用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、X线衍射仪(XRD)、接触角分析仪对薄膜的性能和结构进行表征。结果表明：制得的薄膜含有大量的-CH3，具有良好的疏水性；薄膜呈非晶态结构。当n(MTES)/n(TEOS)=2、n(H2O)/n(MTES+TEOS)=2、n(乙醇)/n(MTES+TEOS)
