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基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作.pdf
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基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作.pdf
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基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作* (2014年)
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采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺，设计并制作了低成本4x4钨微测辐射热计阵列集成芯片。阵列中每个钨微测辐射热计均由微悬桥结构和钨热敏电阻组成，CMOS读出电路集成在阵列下方。微悬桥结构由表面牺牲层技术实现，不需要任何的光刻工艺。钨微测辐射热计像元尺寸为100μm×100μm，填充因子为20％。测试结果表明，在真空环境下，钨微测辐射热计等效热导为1.31×10-4W／K，等效热容为1.
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