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基于MEMS的硅微压阻式加速传感器设计PPT课件.pptx
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一
.
介简
硅微加速度传感器是
MEMS
器件中的一个重要分支,具有十分广
阔的应用前景。
•
响应快
•
易集成
•
功耗小
•
灵敏度高
•
易于小型化
•
在强辐射作用下能正常工作
优点:
发展迅速
第
1
页
/
共
17
页
二
、
压
阻
式
微
加
速
度
计
的
工
作
原
理
以单晶硅为例,当压力作用在单晶硅上时,硅晶
体的电阻率发生显著变化的效应称为压阻效应。
图
1
、压阻式微传感器结构
1
、压阻效应
第
2
页
/
共
17
页
弹性元件的结构形式一般采用微机械加工技术形成硅梁外加
质量块的形式,利用压阻效应来检测加速度。在双端固支梁结构
中,质量块像活塞一样上下动,该结构的传感器示意图如图
2
所示。
图
2
传感器示意图
第
3
页
/
共
17
页
2
、加速度传感器典型结构分析
(a)
单悬臂梁
(b)
双悬臂梁
(c)
双端梁
(d)
双岛五梁
(e)
双端四梁
(f)
四边梁结构
(
g
)八梁结构
第
4
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m0_74961653
2022-11-17
资源不错,内容挺好的,有一定的使用价值,值得借鉴,感谢分享。
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