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MEMS技术 电子零件原理PPT教案.pptx
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会计学
1
MEMS
技术 电子零件原
理
课程内容
MEMS
概述及
MEMS
设计
的概述
工艺简要回顾
系统设计、工艺设计及
版图设
计
主要的机械、电子元件
及其设
计基础
多域耦合设计:以机电
耦合为
例子
器件性能的估计
简单
的其他
域的元
件及
其简
要
设计
要点
设计
实例
第
1
页
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共
87
页
第
4
讲主要内容
(3)
1
、弹簧设计原理及计算例子
2
、薄膜设计原理及计算例子
3
、电容设计原理及计算例子
4
、电阻设计原理及计算例子
5
、压电模型
第
2
页
/
共
87
页
电容变化
静电力
第
3
页
/
共
87
页
图
2-17
电容式微传感器的基本结构
平行板电容器的电容为
电容敏感原理
第
4
页
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共
87
页
A
C
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