四、 MEMS 设计的
基本问题
MEMS 设计的目的分为三类:
(1) 作为技术探索而设计的组件或系统:一般是为了验
证研究者的某种设计思想,测试某种制作工艺的合理性与
局限性,因此,只需制作少量的试样就够了。
(2) 作为仪器研发而设计的组件或系统:设计的设备将
用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务,对这种
目的的设计,必须注意仪器、设备的准确性,而对产品需
求的数量可视具体情况而定。
(3) 作为商业产品而设计的组件或系统:设计的产品将
用于商业化的生产和销售,其需求的数量及产品的准确性
和精密度,可按市场的要求而定。
阶段:概念设计、基本设计、详细设计以及 CAD 和仿真等
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